EddyCus® TF lab 2020SR 是一種非接觸式單點薄層電阻測量系統。該設備包含一個渦流傳感器組，可將微弱電流感應到導電薄膜和材料中。樣本中的感應電流會產生與測量對象的薄層電阻相關的電磁場。該技術獨立于表面特征或形態。此外，它不需要任何類型的充分樣品接觸或準備，例如從 2 點或 4 點探針測試（2PP、4PP）或霍爾效應或范德堡測量中得知。它既不需要設置測試結構，也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響。此外，測量不會對測試的薄膜產生物理影響。由于存在機械磨損，渦流儀器具有較長的使用壽命。它獨立于接觸質量和高速，可實現高重復性和準確性，有利于研發和測試實驗室中各種薄膜的系統質量保證。 EddyCus 工具可以由具有各種數據記錄和導出功能的 SURAGUS 軟件驅動，也可以由 SURAGUS 軟件開發套件驅動的客戶軟件驅動。

軟件和設備控制

1、非常人性化的軟件

2、直觀的觸摸顯示屏導航

3、實時測量薄層電阻和層厚

4、軟件輔助手動映射選項

5、各種數據保存和導出選項

2020SR非接觸式單點薄層電阻測試儀的數據表

測量技術	非接觸式渦流傳感器
基質	箔、玻璃、晶片等。
基底面積	8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面開口)
最大值樣品厚度/傳感器間隙	3 / 5 / 10 / 25毫米(由最厚的樣品確定)
金屬薄膜(如銅)的厚度測量范圍	2納米–2毫米(根據薄層電阻)
設備尺寸(寬高比)	11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米
重量	10公斤
更多可用功能	薄層電阻測量/金屬厚度監控器

	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
	6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]	0.0001 – 0.1	0.1 – 10	0.1 – 100	10 – 2000	1,000 – 200,000
Accuracy / Bias	± 1%			± 1 – 3%	± 3 – 5%
Repeatability (2σ)	< 0.3%			< 0.5%	< 0.3%

VLSR - 極低薄層電阻 , LSR - 低薄層電阻 , MSR - 中等薄層電阻 , HSR - 高薄層電阻 , VHSR - 非常高薄層電阻

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簡要描述：2020SR非接觸式單點薄層電阻測試儀是一種非接觸式單點薄層電阻測量系統。該設備包含一個渦流傳感器組，可將微弱電流感應到導電薄膜和材料中。樣本中的感應電流會產生與測量對象的薄層電阻相關的電磁場。

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